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集成电路制造工艺ppt下载

素材编号:
354011
素材软件:
PowerPoint
素材格式:
.ppt
素材上传:
陈姜
上传时间:
2019-05-28
素材大小:
3.57 MB
素材类别:
其他PPT
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集成电路制造工艺ppt

集成电路制造工艺ppt免费下载是由PPT宝藏(www.jjw66.com)会员陈姜上传推荐的其他PPT, 更新时间为2019-05-28,素材编号354011。

这是集成电路制造工艺ppt,包括了教材与参考书、考核,绪论,引言,集成电路的历史,何为集成电路,微电子工艺特点与基本工艺流程等内容,欢迎点击下载。

 集成电路制造技术    ——原理与工艺
教材与参考书、考核
教材:王蔚 《微电子制造技术----原理与工艺》(修订版)电子工业出版社   2013
参考书:关旭东 《硅集成电路工艺基础》北京大学出版  2003
清华大学《集成电路工艺》多媒体教学课件  2001
Stephen A. C.《微电子制造科学原理与工程技术》电子工业出版社,2003
考核方式:考勤20+作业10+考试(闭卷)70
1. 引言
2、集成电路的历史
3. 何为集成电路
4. 微电子工艺特点与基本工艺流程
为什么要学习本课程?
半导体产业结构
产业现状-全球
技术现状-全球
 1833年,英国科学家电子学之父法拉第最先发现硫化银的电阻随着温度的变化情况不同于一般金属,一般情况下,金属的电阻随温度升高而增加,但巴拉迪发现硫化银材料的电阻是随着温度的上升而降低。这是半导体现象的首次发现。
 1874年,电报机、电话和无线电相继发明等早期电子仪器亦造就了一项新兴的工业──电子业的诞生。
微电子工业生产过程图
超净 环境、操作者、工艺三方面的超净,如超净室,ULSI在100级超净室制作,超净台达10级。
超纯 指所用材料方面,如衬底材料、功能性电子材料、水、气等;
     Si、Ge单晶纯度达11个9。
高技术含量 设备先进,技术先进。
高精度 光刻图形的最小线条尺寸在深亚微米量级,制备的介质薄膜厚度也在纳米量级,而精度更在上述尺度之上。
大批量,低成本  图形转移技术使之得以实现。
超净环境(超净间)
超纯材料
批量复制和广泛的用途
IC产业流程图
IC制造流程
IC设计
IC制造
IC封测
MOSFET的工艺流程简介
(1)硅片清洗和打标记
(2)氧化硅生长(保护硅片和掩膜层)
(3)光刻
(5)栅氧化
淀积多晶硅,用多晶硅栅极版图刻蚀多晶硅
以多晶硅栅极图形为掩膜板,刻蚀氧化膜
完整的简单MOS晶体管结构
 

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