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mems传感器的ppt下载

素材编号:
348444
素材软件:
PowerPoint
素材格式:
.ppt
素材上传:
烟中客
上传时间:
2019-04-28
素材大小:
874.5 KB
素材类别:
其他PPT
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mems传感器的ppt

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世界上最先进的MEMS加工设备是哪个国家生产的。如果我们引进这样的设备建立实验室,学习和生产的意义是什么?(从工艺方面考虑)
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MEMS(Micro Electric Mechanical System):即微电子机械系统。用微电子技术和微机械技术制造的微敏感器件与微执行器的总和。
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